TY  - JOUR
SN  - 0040-6090
UR  - http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236/
AV  - restricted
VL  - 571
JF  - THIN SOLID FILMS
ID  - publicatio9236
IS  - 3
TI  - Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses
SP  - 631
A1  -  Tóth Zsolt
A1  -  Hanyecz István
A1  -  Gárdián Anett
A1  -  Budai Judit
A1  -  Csontos János
A1  -  Pápa Zsuzsanna
A1  -  Füle Miklós Jen?
EP  - 636
Y1  - 2014///
ER  -