relation: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236/ title: Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses creator: Tóth Zsolt creator: Hanyecz István creator: Gárdián Anett creator: Budai Judit creator: Csontos János creator: Pápa Zsuzsanna creator: Füle Miklós Jenő date: 2014 type: Folyóiratcikk type: NonPeerReviewed format: text identifier: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9236/1/Ellipsometric%20analysis%20of%20textured%20Si_Toth.pdf identifier: Tóth Zsolt; Hanyecz István; Gárdián Anett; Budai Judit; Csontos János; Pápa Zsuzsanna; Füle Miklós Jenő: Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses. THIN SOLID FILMS, 571 (3). pp. 631-636. ISSN 0040-6090 (2014) identifier: doi:10.1016/j.tsf.2013.10.102 relation: 2537453 language: eng