%P 2449-2454
%T Wet Etching of Fused Silica: a Multiplex Study
%V 37
%D 2004
%O FELTÖLTŐ: Vass Csaba - vasscsaba@physx.u-szeged.hu
%I Institute of Physics Publishing
%A  Vass Csaba
%A  Smausz Tomi
%A  Hopp BĂŠla
%J JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS
%L publicatio9095
%N 17
%R 1083950