%0 Journal Article %@ 0022-3727 %A Vass Csaba %A Smausz Tomi %A Hopp Béla %A SZTE/TTIK/FTCS/Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék/MTA-SZTE Lézerfizikai Kutatócsoport, %D 2004 %F publicatio:9095 %I Institute of Physics Publishing %J JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS %N 17 %P 2449-2454 %T Wet Etching of Fused Silica: a Multiplex Study %U http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/9095/ %V 37 %Z FELTÖLTŐ: Vass Csaba - vasscsaba@physx.u-szeged.hu