TY - JOUR A1 - Szabó Péter Imre A1 - Ugi Dávid A1 - Gilicze Barnabás A1 - Dankházi Zoltán A1 - Lipcsei Sándor A1 - Homik Zsolt A1 - Tóth Zsolt JF - APPLIED PHYSICS A - MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING N1 - A TKP2021-NVA-16 számú projekt a Kulturális és Innovációs Minisztérium Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alapból nyújtott támogatásával a TKP2021-NVA pályázati program finanszírozásában valósult meg. High Intensity Laser Laboratory (HILL), Institue of Physics, University of Szeged, Dóm tér 9, Szeged, 6720, Hungary Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary Department of Materials Physics, Eötvös Loránd University, Pázmány Péter sétány 1/A, Budapest, 1117, Hungary Department of Medical Physics and Informatics, University of Szeged, Korányi fasor 9, Szeged, 6720, Hungary Export Date: 25 May 2023; Cited By: 0; Correspondence Address: P.I. Szabó; Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary; email: szabo.peter.imre@uni-nke.hu; CODEN: APAMF IS - 6 AV - public TI - Micromachining using the high energy flat-top beam of a femtosecond pulse UV laser system: micropillar prefabrication VL - 129 UR - https://doi.org/10.1007/s00339-023-06679-x Y1 - 2023/// SN - 0947-8396 ID - publicatio35991 EP - 9 ER -