TY  - JOUR
A1  -  Szabó Péter Imre
A1  -  Ugi Dávid
A1  -  Gilicze Barnabás
A1  -  Dankházi Zoltán
A1  -  Lipcsei Sándor
A1  -  Homik Zsolt
A1  -  Tóth Zsolt
JF  - APPLIED PHYSICS A - MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING
N1  - A TKP2021-NVA-16 számú projekt a Kulturális és Innovációs Minisztérium Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alapból nyújtott támogatásával a TKP2021-NVA pályázati program finanszírozásában valósult meg.

High Intensity Laser Laboratory (HILL), Institue of Physics, University of Szeged, Dóm tér 9, Szeged, 6720, Hungary            
            Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary            
            Department of Materials Physics, Eötvös Loránd University, Pázmány Péter sétány 1/A, Budapest, 1117, Hungary            
            Department of Medical Physics and Informatics, University of Szeged, Korányi fasor 9, Szeged, 6720, Hungary            
            Export Date: 25 May 2023; Cited By: 0; Correspondence Address: P.I. Szabó; Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary; email: szabo.peter.imre@uni-nke.hu; CODEN: APAMF
IS  - 6
AV  - public
TI  - Micromachining using the high energy flat-top beam of a femtosecond pulse UV laser system: micropillar prefabrication
VL  - 129
UR  - https://doi.org/10.1007/s00339-023-06679-x
Y1  - 2023///
SN  - 0947-8396
ID  - publicatio35991
EP  - 9
ER  -