%0 Journal Article
%@ 0947-8396
%A  Szabó Péter Imre
%A  Ugi Dávid
%A  Gilicze Barnabás
%A  Dankházi Zoltán
%A  Lipcsei Sándor
%A  Homik Zsolt
%A  Tóth Zsolt
%A Természettudományi Tanszék NKE / HHK TTT [2012-],
%A Kísérleti Fizikai Tanszék SZTE / TTIK / FI KFT [2016-],
%A Anyagfizikai Tanszék ELTE / TTK / FizCsill_I AnyagF_Tsz [2006-],
%A Orvosi Fizikai és Orvosi Informatikai Intézet SZTE / SZAOK OFOII [2010-],
%D 2023
%F publicatio:35991
%J APPLIED PHYSICS A - MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING
%N 6
%T Micromachining using the high energy flat-top beam of a femtosecond pulse UV laser system: micropillar prefabrication
%U http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/35991/
%V 129
%Z A TKP2021-NVA-16 számú projekt a Kulturális és Innovációs Minisztérium Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alapból nyújtott támogatásával a TKP2021-NVA pályázati program finanszírozásában valósult meg.  High Intensity Laser Laboratory (HILL), Institue of Physics, University of Szeged, Dóm tér 9, Szeged, 6720, Hungary                         Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary                         Department of Materials Physics, Eötvös Loránd University, Pázmány Péter sétány 1/A, Budapest, 1117, Hungary                         Department of Medical Physics and Informatics, University of Szeged, Korányi fasor 9, Szeged, 6720, Hungary                         Export Date: 25 May 2023; Cited By: 0; Correspondence Address: P.I. Szabó; Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary; email: szabo.peter.imre@uni-nke.hu; CODEN: APAMF