Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses

Tóth Zsolt; Hanyecz István; Gárdián Anett; Budai Judit; Csontos János; Pápa Zsuzsanna; Füle Miklós Jenő: Ellipsometric analysis of silicon surfaces textured by ns and sub-ps KrF laser pulses.
THIN SOLID FILMS, 571 (3). pp. 631-636. ISSN 0040-6090 (2014)

[thumbnail of Ellipsometric analysis of textured Si_Toth.pdf] Szöveg
Ellipsometric analysis of textured Si_Toth.pdf - Megjelent verzió
Zárt hozzáférés: Csak az archívum karbantartója

Download (815kB)
Mű típusa: Folyóiratcikk
Folyóirat/kiadvány címe: THIN SOLID FILMS
Publikáció dátuma: 2014
Kötet: 571
Szám: 3
Oldalak: pp. 631-636
ISSN: 0040-6090
Kar/Egység: Természettudományi és Informatikai Kar
Intézmény: Szegedi Tudományegyetem
Nyelv: angol
MTMT rekordazonosító: 2537453
DOI azonosító: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.10.102
Dátum: 2017. Máj. 18. 17:07
Utolsó módosítás: 2019. Okt. 30. 14:45
URI: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/9236
Hivatkozások száma a Web of Science® -ben: 6 Idéző cikkek megtekintése a Web of Science® felületén

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet

Letöltések

Letöltések havi bontásban az elmúlt egy évben