Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica

Vass Csaba; Hopp Béla; Smausz Tomi; Ignácz Ferenc: Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica.
THIN SOLID FILMS, 453-454. pp. 121-126. ISSN 0040-6090 (2004)

[thumbnail of 2004_Vass_Thin_Solid_Films_121_126_453454_u.pdf]

Szöveg
2004_Vass_Thin_Solid_Films_121_126_453454_u.pdf - Megjelent verzió
Korlátozott hozzáférés: SZTE polgárok számára hozzáférhető, repozitóriumba való belépés után
Download (405kB) | Másolat kérése

Szerző azonosítók:

Vass Csaba MTMT

Hopp Béla MTMT

Smausz Tomi MTMT

Ignácz Ferenc MTMT

Mű típusa:

Folyóiratcikk

Folyóirat/kiadvány címe:

THIN SOLID FILMS

Publikáció dátuma:

2004

Kötet:

453-454

Oldalak:

pp. 121-126

ISSN:

0040-6090

Kar/Egység:

Természettudományi Kar

Intézmény:

Szegedi Tudományegyetem (2000-)

Nyelv:

angol

MTMT rekordazonosító:

1083945

DOI azonosító:

https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.11.081

Dátum:

2017. Máj. 12. 12:15

Utolsó módosítás:

2019. Okt. 16. 13:55

URI:

http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/9094

Hivatkozások száma a Web of Science® -ben: 57

Idéző cikkek megtekintése a Web of Science® felületén

Actions (login required)

Tétel nézet

Bejelentkezés szerkesztőként.
Itt kérhet technikai vagy tartalmi segítséget: publicatio AT ek.szte.hu
Az SZTE Klebelsberg Könyvtár és Levéltár által működtetett SZTE Publicatio Repozitórium megkapta az MTMT Repozitórium Minősítő Bizottságától a "Minősített repozitórium" tanúsítványt.
SZTE Publicatio Repozitórium is powered by EPrints 3 which is developed by the School of Electronics and Computer Science at the University of Southampton. More information and software credits.