Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica

Vass Csaba; Hopp Béla; Smausz Tomi; Ignácz Ferenc: Experiments And Numerical Calculations For The Interpretation of The Backside Wet Etching of Fused Silica.
THIN SOLID FILMS, 453-454. pp. 121-126. ISSN 0040-6090 (2004)

[thumbnail of 2004_Vass_Thin_Solid_Films_121_126_453454_u.pdf] Szöveg
2004_Vass_Thin_Solid_Films_121_126_453454_u.pdf - Megjelent verzió
Korlátozott hozzáférés: SZTE polgárok számára hozzáférhető, repozitóriumba való belépés után

Download (405kB) | Másolat kérése
Mű típusa: Folyóiratcikk
Folyóirat/kiadvány címe: THIN SOLID FILMS
Publikáció dátuma: 2004
Kötet: 453-454
Oldalak: pp. 121-126
ISSN: 0040-6090
Kar/Egység: Természettudományi Kar
Intézmény: Szegedi Tudományegyetem
Nyelv: angol
MTMT rekordazonosító: 1083945
DOI azonosító: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.11.081
Dátum: 2017. Máj. 12. 12:15
Utolsó módosítás: 2019. Okt. 16. 13:55
URI: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/9094
Hivatkozások száma a Web of Science® -ben: 57 Idéző cikkek megtekintése a Web of Science® felületén

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet

Letöltések

Letöltések havi bontásban az elmúlt egy évben