Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes

Nánai L, Vajtai Róbert, Kiss János, Luches A, Mihailescu IN: Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes.
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, 3573. pp. 104-107. ISSN 0277-786X (1998)

[img]
Előnézet
Szöveg
061. dolgozat.pdf - Megjelent verzió

Download (617kB) | Előnézet
Mű típusa: Cikk
Intézmény: Más intézmény
Felhasználó: Csonka Petra Barbara
A mű MTMT azonosítója: 1077658
Dátum: 2015. Szep. 21. 15:58
Utolsó módosítás: 2017. Okt. 19. 13:17
URI: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/5563

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet

Letöltések

Letöltések havi bontásban az elmúlt egy évben