Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes

Nánai L; Vajtai Róbert; Kiss János; Luches A; Mihailescu IN: Smooth vanadium-nitride layers created on silicon substrates by puse layer deposition methodes.
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, 3573. pp. 104-107. ISSN 0277-786X (1998)

[thumbnail of 061. dolgozat.pdf]
Előnézet
Szöveg
061. dolgozat.pdf - Megjelent verzió

Download (617kB) | Előnézet
Mű típusa: Folyóiratcikk
Folyóirat/kiadvány címe: PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
Publikáció dátuma: 1998
Kötet: 3573
Oldalak: pp. 104-107
ISSN: 0277-786X
Kar/Egység: Természettudományi Kar
Intézmény: Más intézmény
Nyelv: angol
MTMT rekordazonosító: 1077658
Dátum: 2015. Szep. 21. 15:58
Utolsó módosítás: 2022. Nov. 25. 13:34
URI: http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/5563

Actions (login required)

Tétel nézet Tétel nézet

Letöltések

Letöltések havi bontásban az elmúlt egy évben