Lohner Tivadar; Németh Attila; Zolnai Zsolt; Kalas Benjamin; Romanenko Alekszej; Nguyen Quoc Khánh; Szilágyi Edit; Kótai Endre; Agócs Emil; Tóth Zsolt; Budai Judit; Petrik Péter; Fried Miklós; Bársony István; Gyulai József:
Disorder and cavity evolution in single-crystalline Ge during implantation of Sb ions monitored in-situ by spectroscopic ellipsometry.
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 152.
ISSN 1369-8001
(2022)
Előnézet |
Szöveg
2022LohnerMatSciSemicondProc152.pdf - Megjelent verzió Download (4MB) | Előnézet |
| Szerző azonosítók: |
|
|||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Mű típusa: | Folyóiratcikk | |||||||||||||||
| Folyóirat/kiadvány címe: | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING | |||||||||||||||
| Publikáció dátuma: | 2022 | |||||||||||||||
| Kötet: | 152 | |||||||||||||||
| Terjedelem: | 11 | |||||||||||||||
| Közlemény azonosító: | 107062 | |||||||||||||||
| ISSN: | 1369-8001 | |||||||||||||||
| Kar/Egység: | ELI-HU Szent-Györgyi Albert Orvostudományi Kar Természettudományi és Informatikai Kar |
|||||||||||||||
| Intézmény: | Szegedi Tudományegyetem (2000-) | |||||||||||||||
| Nyelv: | angol | |||||||||||||||
| MTMT rekordazonosító: | 33077841 | |||||||||||||||
| DOI azonosító: | https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.107062 | |||||||||||||||
| Dátum: | 2023. Jan. 17. 09:10 | |||||||||||||||
| Utolsó módosítás: | 2023. Jan. 17. 09:10 | |||||||||||||||
| URI: | http://publicatio.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/26205 |
| Hivatkozások száma a Web of Science® -ben: 2 | Idéző cikkek megtekintése a Web of Science® felületén |
Actions (login required)
 |
Tétel nézet |
Repozitóriumi letöltési statisztika
Repozitóriumi letöltési statisztika
